【1998年】JST委托开发和光刻技术开发启动
全息图・衍射光栅技术的内部生产化
当时,虽然接受了松下电器(现:松下)的激光全息图试制・开发委托,但公司内部没有必要的开发装置,因此向美国的Mems Optical(现:JENOPTIK)提供原版,并通过应用半导体前工序的工艺制作原版。
另一方面,为了将该技术内部生产化,引进了离子蚀刻装置,并通过与大阪大学・有留教授(已故)的委托研究,开始了通过离子蚀刻在镍上进行衍射光栅加工的研究。此外,还活用城市区域产学官合作促进事业,着手进行了亚波长光栅的研究。
2000年,通过将曝光装置和离子蚀刻装置移设到山崎事业所,完善了衍射光栅的内部生产化体制,实现了仅在公司内部就能完成一系列工艺。2001年,在OSTEC的推荐下,以大阪府立大学・岩田教授、菊田教授拥有的原权利为基础,被采纳为JST(科学技术振兴机构)的委托开发事业。进行了约3亿日元的设备投资,引进了超精密洁净室、电子束描画装置(EB)、电子束显微镜(SEM)。由此,衍射光栅模具的制作得以推进,并从DVD・CD・Blu-ray等光盘相关领域获得了大量的咨询。同时,还推进了短于波长的光栅结构体(亚波长光栅)的开发,成功地对ARS(防反射结构)、PBS(偏光分离元件)、波长分离元件进行了权利化和试制开发。
在这些成果的基础上,从2003年开始,为实现事业化而进行的努力正式启动,确立了成为现在基础的技术群。



































