【2000年】技術課題への取り組み

NALUXのコア技術思想

 当社の技術研究所では光学設計と超精密加工法と機器および光学測定機器の開発に取り組み、次の3次元ナノ任意形状に関する先端的技術確立を課題としている。球面から始まった加工技術は非球面とトロイダル面で違ってくるが、補償光学系のマイクロレンズアイから3次元ナノ任意形状へ移行することで、多項式による3次元形状の自由曲面と、ピッチが2~10μm、深さが50~500nmという微細形状の回析格子に大別される。
 そこで自由曲面を用いた走査光学系では、独自の評価とデータフィードバックシステムを開発し、左右非対象を含めた高精度自由曲面形状レンズの創製を目指す。また、ホログラムユニットによる光ピックアップのコンパクト化や複合化も課題となる。
 金型加工方法は、球面加工では固定遊離砥粒研磨、非球面は単結晶ダイヤモンドターニングを使っていた。これが自由曲面ではダイヤモンドターニングによる3次元ナノ加工、回析格子はエッチングまたは電子ビームによる加工となる。そこでダイヤモンドツールの刃先形状はバイナリー階段状からV溝、ブレース、非対象ブレースと多様化、エッチングもイオンビームを活用するようになるから、レーザーアブレーションによる光学面の創製が、今後重要な意味を持ってくる。
 なお大阪府地域結集型研究事業における研究で、キノフォーム型(ピッチ2μm、深さ1μm)とフレーズド型(ピッチ4μm、深さ 1.2μm)の各回析格子、それに反射防止構造の開発に成功している。
一方プラスチックの成形加工では、CAEによるランナーゲート設計や、シミュレーションによる光学特性の予測など、より精密化が必要である。

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